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          烏海高純特種氣體中單元高純氣體的品種及用途(一)

          2021-04-15 10:59:49

          烏海高純特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。到目前為止,特種氣體中單元純氣體共有260種,其中:

          電子氣體共114種,占總數的43.8%(實際常用的約44種);

          有機氣體共65種,占總數的25%;

          無機氣體共35種,占總數的13.4%;

          鹵碳素氣體共29種,占總數的11%;

          同位素氣體共17種,占總數的6.8%。

          本文專門介紹這260種單元高純特種氣體的用途。

          1.氮氣-N2,純度要求>99.999%,用作標準氣、在線儀表標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣;用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻、退火、搭接、燒結等工序;電器、食品包裝、化學等工業也要用氮氣。

          2.氧氣-O2,>99.995%,用作標準氣在線儀表標準氣、校正氣、零點氣;還可用于醫療氣;在半導體器件制備工藝中用于熱氧化、擴散、化學氣相淀積、等離子干刻等工序;以及用于光導纖維的制備。

          3.氬氣-Ar,>99.999,用作標準氣、零點氣、平衡氣;用于半導體器件制備工藝中晶體生長、熱氧化、外延、擴散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結等工序;特種混合氣與工業混合氣也使用氫。

          4.氫氣-H2,>99.999%,用作標準氣、零點氣、平衡氣、校正氣、在線儀表標準氣;在半導體器件制備工藝中用于晶休生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等工序;在化學、冶金等工業中也有用。

          5.氦氣-He,>99.999%,用作標準氣、零點氣、平衡氣、校正氣、醫療氣;于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、載流等工序;另外,烏海高純特種氣體混合氣與工業混合氣也常用。

          6.氯氣-Cl2,>99.96%,用作標準氣、校正氣;用于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、熱氧化等工序;另外,用于水凈化、紙漿與紡織品的漂白、下業廢品、污水、游泳池的衛生處理;制備許多化學產品。

          7.氟氣-F2,>98%,用于半導體器件制備工藝中等離子干刻;另外,用于制備六氟化鈾、六氟化硫、三氟化硼和金屬氟化物等。

          8.氨氣-NH3,>99.995%,用作標準氣、校正氣、在線儀表標準氣;用于半導體器件制備工藝中氮化工序;另外,用于制冷、化肥、石油、采礦、橡膠等工業。

          9.氯化氫-HCI,>99.995%,用作標準氣;用于半導體器件制備工藝中外延、熱氧化、擴散等工序;另外,用于橡膠氯氫化反應中的化學中間體、生產乙烯基和烷基氯化物時起氧氯化作用。

          10.一氧化氮-NO,>99%,用作標準氣、校正氣;用于半導體器件制備工藝中化學氣相淀積主序;烏海高純特種氣體制備監控大氣污染的標準混合氣。

          烏海高純特種氣體

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