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          烏海高純特種氣體中單元高純氣體的品種及用途(四)

          2021-04-19 09:46:08

          烏海高純特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。到目前為止,特種氣體中單元純氣體共有260種,其中:

          電子氣體共114種,占總數的43.8%(實際常用的約44種);

          有機氣體共65種,占總數的25%;

          無機氣體共35種,占總數的13.4%;

          鹵碳素氣體共29種,占總數的11%;

          同位素氣體共17種,占總數的6.8%。

          本文專門介紹這260種單元高純特種氣體的用途。

          61.四氟化硫-SF4,>98%,用于等離子干刻工序;氟化劑、表面處理劑。

          62.四氟化硅-SiF4,>99.99%,用于化學氣相淀積工序;制備氟硅酸及其鹽類。

          63.四氟化鍺-GeF4,>99.999%,用于離子注入工序。

          64.五氟化磷-PF5,>99.9%,用于離子注入、等離子干刻工序;另外,用作氟化劑,聚合、烴化及脫烴化反應、烴類裂化反應時作催化劑。

          65.五氟氯乙烷-C2ClF6,(R-115),>99.99%,用于等離子干刻工序;另外,作冷凍劑、煙霧噴氣劑。

          66.五氟化砷-AsF5,>99%,用于外延、離子注入工序,氟化劑。

          67.六氟乙烷-C2F6,(R-116),>99.99%,用于等離子干刻工序;用作冷卻、冷凍劑和空調;單體生產的原料;化學反應中的添氟劑、電器設備的絕緣劑。

          68.六氟化硫-SF6,>99.99%,用作標準氣;用于化學氣相淀積工序;由于在高電壓下具有很高的電阻,用作電器設備的絕緣劑;檢漏氣體,實驗室中作色譜儀的載氣。

          69.六氟化鎢-WF6,>99.99%,用于化學氣相淀積工序;強烈的氟化劑;也用作鎢載體。

          70.六氟化氧-(CF3)2O2,>99.99%,用于等離子干刻工序。

          71.六氟乙酰-(CF3)2CO,>99.99%,用途同(70)。

          72.六氟乙酞氧-(CF3CO)2O,>99.99%,用途同(70)。

          73.六氟化錸-ReF6,>97%,用于離子注入工序;氟化劑。

          74.八氟丙烷-C3F8,(R-218),>99.9%,用于等離子干刻工序;與氟利昂相混合作冷凍劑;高壓電的絕緣劑。

          75.八氟環丁烷-C4F8,(RC318),>99.99%,用于等離子干刻工序;用作冷卻劑、冷凍劑;作電器和電子設備的氣體絕緣。

          76.十二氟戊烷-C5F12,>99.9%,用于等離子干刻工序;也可與CF4相混用。

          77.三甲基鋁-(CH3)3Al,>99.999%,用于化學氣相淀積工序;金屬的有機合成。

          78.三甲基鎵-(CH3)3Ga>99.999%,用途同(77)。

          79.三甲基銻-(CH3)3Sb,>99.999%,用途同(77)。

          80.三甲基錮-(CH3)3In,>99.999%,用途同(77)。

          81.三乙基鋁-(C2H5)3Al,>99.999%,用途同(77)。

          82.三乙基鎵-(C2H5)3Ga,>99.999%,用途同(77)。

          83.四乙基鉛-(C2H5)4Pb,>99.999%,用于化學氣相淀積工序。

          84.烏海高純特種氣體丙烯腈-C3H3N,>99.9%,用于等離子干刻工序。

          85.1,1,2-三氯乙烯-C2HCl3,>99.99%,用作標準氣、校正氣、醫療氣;用于半導體器件制備工藝中熱氧化工序;另外,用于金屬的脫脂劑和脂肪、油、石蠟等萃取劑,衣服干洗,冷凍劑,殺菌劑。

          86.甲烷-CH4,99.999%,用作標準氣、校正氣、在線儀表標準氣;作燃料、宇宙飛船中氣體電池。

          87.甲烷硫醇-CH3SH,>99.5%,用作標準氣、校正氣;用于有機合成;作為噴氣燃料添加劑,殺真菌劑和蛋氨酸的中間體。

          88.一甲胺-CH3NH2,>99%,用于硫化促進劑、藥物、染料和炸藥等,并作溶劑、有機合成、醋酸人造纖維。

          89.甲醇-CH3OH,>99.9%,用作標準氣,與空氣混合后作校正氣;用于制備甲醛和農藥鄉用于有機物質的萃取劑和酒精的變性劑。

          90.二甲胺-(CH3)2NH,>99%,用作抗氧化劑;在溶液中作浮洗.劑、汽油穩定劑、橡膠加速劑等。

          91.二甲醚-(CH3)2O,>99.9%,在化學工業中用作配制合成橡膠和甲硫醚;用作甲基劑、萃取劑、溶劑;也用作制冷劑。

          92.乙炔-C2H2,>99.9%,用作標準氣、校正氣;化學工業中的中間體,如制備乙烯、乙醛、醋酸乙烯、氯乙烯、乙烯醚等;用于原子吸收光譜。

          93.乙烯-C2H4,>99.99%,用作在線儀表標準氣、標準氣、校正氣;是化學

          工業合成中的重要原料,生產塑料的中間體,生產乙醇、醋酸、氧化乙烯、氯乙烯、乙苯等的原料;也用于焊接和切割、冷凍劑、某些水果、蔬菜生長的加速劑。

          94.氧化乙烯-C2H4O,99.9%,用作標準氣、校正氣、醫療氣;與CO2、R11、R21相混合作消毒劑,文物保管,皮革消毒,清洗衣料均可采用;化學工業中用作中間體,生產液體或固體聚乙二醇、乙醇胺類等。

          95.溴代乙烯-C2H3Br,>99.9%,用作有機合成的中間體,用聚合法與共聚法來制備塑料。

          96.一乙胺-CH3CH2NH2,>99%,水溶液中含有70%乙胺,作為下列化學工業制備中的中間體:著色劑,電鍍池、硫化增速劑等;還用于制藥、表面活性劑、萃取劑。

          97.四氟乙烯-C2F4,>99%,在生產塑料時作為一種重要的單體,如泰氟隆等。

          98.乙醛-CH5CHO,>99.9%,用作校正氣;用于制備酷酸、醋醉、醋酸乙酷、正丁醇、合成樹脂等。

          99.二甲基二硫醚-CH3S2CH3,>99.9%,用作校正氣、溶劑。

          100.烏海高純特種氣體二甲基硫醚-CH3SCH3>99.9%,用作校正氣、溶劑。

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